中微公司(688012)：刻蚀设备营收、订单双高增 薄膜设备加速布局

核心观点


　　2023 年公司营收同比增长32%，其中刻蚀设备、MOCVD 设备同比分别+49%、-34%，公司出售部分持有拓荆股票导致非经增长带动净利率高增，毛利率和扣非后净利率保持稳定。订单表现与营收表现一致，2023 年公司新增订单约83.6 亿元，同比+32.3%，其中刻蚀设备69.5 亿元，同比+60.1%，实现超高速增长，MOCVD设备同比-72.2%，受行业周期下行影响。公司在集成电路领域布局刻蚀、薄膜沉积等重点设备，刻蚀竞争力不断增强，薄膜沉积2024 年将推出10 款以上新产品，加速布局，未来表现值得期待。


　　事件


　　2023 年，公司实现营业收入62.64 亿元，同比增长32.15%，归母净利润17.86 亿元，同比增长52.67%，扣非后归母净利润11.91亿元，同比增长29.58%。其中，Q4 单季度实现营业收入22.22 亿元，同比增长30.97%，归母净利润6.26 亿元，同比增长66.14%，扣非后归母净利润4.58 亿元，同比增长66.13%。


　　简评


　　刻蚀设备营收、订单双双高增，非经增长带动净利润高增刻蚀设备营收高增，MOCVD 业务承压，营收稳健增长。2023 年公司营收62.64 亿元，同比+32.15%，其中Q4 单季度实现营收22.22 亿元，同比+30.97%。分业务来看，刻蚀设备收入47.03 亿元，同比+49.43%；MOCVD 设备收入4.62 亿元，同比-33.95%。


　　刻蚀设备营收高增带动总体营收稳健增长，主要得益于公司拳头产品刻蚀设备市占率不断提升，CCP 设备竞争力不断增强，ICP设备不断核准更多刻蚀应用，迅速扩大市场并不断得到领先客户的批量订单。另一大主打产品MOCVD 营收下滑，主要系公司产品在蓝绿光LED 生产线上占据绝对领先份额，受终端市场波动影响下降。


　　非经带动归母净利润高增，毛利率和扣非后净利率总体稳定。公司2023 年归母净利润17.86 亿元，同比+52.67%，扣非后归母净利润11.91 亿元，同比+29.58%，毛、净利率分别为45.83%、28.48%，同比分别+0.09pct、+3.84pct，扣非后净利率19.02%，同比-0.38pct；其中Q4 单季度实现归母净利润6.26 亿元，同比　　+66.14%，扣非后归母净利润4.58 亿元，同比+66.13%，毛、净利率分别为45.82%、28.17%，同比分别-0.33pct、+5.95pct，扣非后净利率20.60%，同比+4.36pct。公司毛利率、扣非后净利率基本保持稳定，受产品销售结构波动以及研发费用率提升影响，净利率高增主要系非经常性损益增加，公司出售部分持有的拓荆科技股票，产生税后净收益约4.06 亿元。


　　刻蚀设备订单大幅增长，后续业绩有保障。2023 年公司新增订单约83.6 亿元，同比+32.3%，其中刻蚀设备69.5亿元，同比+60.1%，MOCVD 设备同比-72.2%，刻蚀设备竞争力不断增强，份额持续提升，MOCVD 设备公司本身份额较高，受行业周期影响订单大幅下滑。


　　刻蚀设备版图不断补全，薄膜沉积设备加速布局刻蚀设备：可覆盖国内95%以上的刻蚀应用需求。2023 年刻蚀设备收入47.0 亿元，同比+49.4%，新增订单约69.5 亿元，同比+60.1%。（1）CCP：公司CCP 设备已对28 nm 以上的绝大部分应用和28nm 及以下的大部分应用形成较为全面的覆盖。截至2023 年底，已累计生产付运超2800 个CCP 刻蚀反应台。逻辑领域，应用于28nm 及以下的大马士革刻蚀工艺的SD-RIE 进入客户验证阶段，存储领域，超高深宽比刻蚀机已在客户端验证出具有刻蚀≥60:1 深宽比结构的能力。（2）ICP：公司产品已在50 多个客户的生产线上量产，持续进行更多刻蚀应用的验证。截至2023 年底，共有445 个Primo Nanova 反应腔在逻辑、存储客户生产线运行，Nanova VEHP 在DRAM 中的高深宽比的多晶硅掩膜应用上在客户产线认证成功，已获得批量重复订单，Nanova LUX 也已在多个客户产线开始认证。3）深硅刻蚀：在晶圆级先进封装、2.5D 封装和微机电系统芯片生产线等成熟市场继续获得重复订单，在12 英寸3D 芯片的硅通孔刻蚀工艺上得到成功验证，并在欧洲客户新建的12 英寸微机电系统芯片产线获得认证机会。


　　薄膜沉积设备：进一步开发LPCVD、ALD 和EPI 产品。2023 年公司新开发出4 款薄膜沉积产品。公司首台CVD 钨设备获得客户重复量产订单。公司的HAR（高深宽比） W 和ALD W 设备已通过客户现场验证。ALD氮化钛设备也在稳步推进。硅和锗硅外延 EPI 设备计划在2024 年投入市场验证。公司计划在2024 年推出超过10 款新型薄膜沉积设备，在薄膜沉积领域快速扩大产品覆盖度。


　　MOCVD 设备：保持领先地位，积极开拓新领域。2023 年MOCVD 设备收入4.62 亿元，同比-33.95%，由于中微的 MOCVD 设备已经在蓝绿光LED 生产线上占据绝对领先的市占率，受终端市场波动影响，2023 年MOCVD设备订单同比下降约72.2%。公司持续保持国际氮化镓基MOCVD 设备市场领先地位，并开启新领域拓展，针对Micro-LED 应用的专用MOCVD 设备运样机至国内领先客户开展生产验证。


　　投资建议


　　预计公司2024-2026 年实现营业收入分别83.29、106.75、147.55 亿元，同比分别增长32.97%、28.18%、38.22%，实现归母净利润分别20.18、25.29、34.21 亿元，同比分别增长13.02%、25.32%、35.27%，对应PE 分别为47.83x、38.17x、28.22x ，维持“买入”评级。


　　风险分析


　　（1）下游扩产不及预期：公司客户包含国内外知名厂商，若行业周期下行等导致下游投资、扩产意愿降低将影响公司产品销量。


　　（2）外部制裁加剧：若以美国为首的国家对中国半导体行业加大限制力度，可能会影响国内晶圆厂扩产进度，进而影响公司订单与销售。


　　（3）新产品研发不及预期：若新产品研发不及预期，则会对其后续收入产生负面影响。


　　（4）市场竞争持续加剧：公司竞争对手为国际知名半导体设备厂商与国内新进半导体设备公司，若公司无法有效应对市场竞争环境，则会面临行业地位下降等不利影响。

□.吕.娟./.陈.宣.霖    .中.信.建.投.证.券.股.份.有.限.公.司