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 | 半导体设备ETF(561980)基金投资组合(持股) 年份： | | 截止日期 | 股票代码 | 股票名称 | 数量(万股) | 持有市值(万元) | 占基金资产净值比例(%) | | 2025-03-31 | 002371 | 北方华创 | 30.15 | 12542.73 | 13.38% | | 2025-03-31 | 688012 | 中微公司 | 56.52 | 10419.18 | 11.12% | | 2025-03-31 | 688981 | 中芯国际 | 106.43 | 9507.60 | 10.14% | | 2025-03-31 | 688041 | 海光信息 | 49.67 | 7018.13 | 7.49% | | 2025-03-31 | 603501 | 韦尔股份 | 45.75 | 6072.46 | 6.48% | | 2025-03-31 | 688120 | 华海清科 | 21.06 | 3483.05 | 3.72% | | 2025-03-31 | 688072 | 拓荆科技 | 20.54 | 3235.74 | 3.45% | | 2025-03-31 | 300346 | 南大光电 | 83.86 | 3055.86 | 3.26% | | 2025-03-31 | 300604 | 长川科技 | 64.65 | 2694.61 | 2.87% | | 2025-03-31 | 688126 | 沪硅产业 | 131.07 | 2433.97 | 2.60% | | 2025-03-31 | 301626 | 苏州天脉 | 0.10 | 8.16 | 0.01% | | 2025-03-31 | 688449 | 联芸科技 | 0.14 | 6.58 | 0.01% | | 2025-03-31 | 688605 | 先锋精科 | 0.07 | 5.59 | 0.01% | | 2025-03-31 | 301658 | 首航新能 | 0.44 | 5.16 | 0.01% | | 2025-03-31 | 688708 | 佳驰科技 | 0.08 | 4.41 | 0.00% | |
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