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 | 华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)基金投资组合(持股) 年份： | | 截止日期 | 股票代码 | 股票名称 | 数量(万股) | 持有市值(万元) | 占基金资产净值比例(%) | | 2026-09-30 | 688012 | 中微公司 | 396.23 | 126219.42 | 68.27% | | 2026-09-30 | 002371 | 北方华创 | 186.99 | 115182.45 | 62.30% | | 2026-09-30 | 688072 | 拓荆科技 | 104.66 | 66983.42 | 36.23% | | 2026-09-30 | 300604 | 长川科技 | 236.37 | 56679.12 | 30.66% | | 2026-09-30 | 688361 | 中科飞测 | 130.07 | 45406.52 | 24.56% | | 2026-09-30 | 688120 | 华海清科 | 198.87 | 45229.12 | 24.46% | | 2026-09-30 | 688037 | 芯源微 | 85.15 | 27867.30 | 15.07% | | 2026-09-30 | 688200 | 华峰测控 | 74.44 | 27838.99 | 15.06% | | 2026-09-30 | 300666 | 江丰电子 | 113.17 | 25212.01 | 13.64% | | 2026-09-30 | 688082 | 盛美上海 | 76.66 | 22560.68 | 12.20% | | 2026-09-30 | 300346 | 南大光电 | 367.87 | 18191.27 | 9.84% | | 2026-09-30 | 600206 | 有研新材 | 313.86 | 14631.98 | 7.91% | | 2026-09-30 | 300655 | 晶瑞电材 | 599.56 | 7386.55 | 4.00% | |
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